制程 - 洗净 -

洗净

在触摸面板(TP,On-cell,OGS)及面板的(液晶面板,LCD,有机EL面板,OLED)等的制造过程中,在表面研磨处理时除去的异物(碎玻璃,有机物)有时会再附着在面板的表面。
作为研磨后期处理的「洗净」制程,被要求有把面板表面的污迹(颗粒,灰尘)确实的洗掉并干燥的功能

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特征

  • 确实的除去污迹(颗粒,灰尘)。
    使用高压2流体的喷雾状流体,洗掉面板表面的污迹(颗粒,灰尘)

  • 用纯水冲洗把细小的污迹(颗粒,灰尘)洗掉。
    使用流量均等的纯水冲洗把面板表面剩下的仅有的污迹(颗粒,灰尘)洗掉。

  • 用风刀进行高速干燥。
    使用FUK独自的风刀吐出均等的空气对表面进行干燥。

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